SNE ALPHA
Detail View →
SNE 4500M
고분해능 SEM (10만배)
I Performance
| Resolution | Magnification | SE Image |
| 5nm | 100.000x | SE Image |
1. Normal-SEM의 Module 소형화를 실현함으로써 최대 10만배까지 영상을 관찰할 수 있는 경제적인 Tabletop SEM입니다
2. 조건에 따라 쉽게 조작이 가능한 Variable Aperture 장착으로 고 분해능인 5nm의 높은 Image Scan이 가능한 모델입니다.
- SE (Secondary Electron)-2차전자: 요철에 의한 정보로 이미지 형성. 주로 표면현상 관찰로 가장 널리 사용
II. Convenience
| Stage System | Auto Setting | Simple S/W |
| X,Y,Z,R,T (5-axis) Beam Shift: 150μm |
Focus, Contrast, Brightness | Convenient Operation |
1. Tabletop SEM 유일 5축 구성으로 다양한 Sample 위치 이동과 Program 내에 마우스 조작으로 단순하고 편리하게 Operation 가능합니다
2. 단계적인 Scan Mode와 Measurement Tool로 다양한 분석결과 획득이 가능합니다.
|
1. X-ray tube |
Max 30kV |
|
2. Resolution |
5nm |
|
3. Magnification |
20x – 100.000x |
|
4. Detector |
SE (Secondary) BSE (Primary) |
|
5. X-ray Source |
Tungsten filament |
|
6. Aperture Type |
30, 50, 50, 100 µm |
|
7. Display mode |
2560x1920 |
|
8. Stage |
X: 40mm, Y:40mm, R: 360, Z: 0 – 40mm, T: 0 - 45 độ. Manual |
|
9. Sample size |
80mm/35mm |
|
10. Vacuum mode |
High vacuum only |
|
11. Scanning time |
180 seconds |
|
12. EDS system |
Bruker, Oxford – Britain |
|
13. Dimension |
390 x 737 x 590 (110kg) |
