고 분해능 Tabletop SEM에 사용자 편의사항을 극
대화한 2023년 신모델 SNE-Alpha
최고 25만배 배율 5nm Resolution
동급 최고수준 25만배 고 배율 이미지의 *5nm resolution을 경험해보세요.
정밀한 렌즈 컨트롤 기능으로 샘플의 손상 없이 최적의 이미지를 촬영할 수 있습니다.
5축 모터라이즈 시스템
약 5um 정밀도의 5축 모터 라이즈 시스템으로 더 빠르고 정확하게 샘플 위치를 찾을 수 있습니다.
보다 빠른 샘플 준비시간
컴팩트 디자인
컴팩트한 디자인으로 설치공간을 최소화 하였습니다.
· 기존모델 대비 Dimension 40%감소
· 효율적인 구조로 설치 공간을 최소화해 좁은 실험실에도 설치가 가능합니다.
· 300(W) x 465(D) x 600(H)
NEW 3세대 Nano-eye
획기적으로 개선된 인터페이스
새롭게 적용된 신규 UI로 더욱 간편하게 촬영 환경을 설정해보세요.
최적의 접근성으로 기존 소프트웨어 대비 60% 더 빠른 결과물을 확인할 수 있습니다
향상된 자동기능
새롭게 추가된 Auto gun align 기능으로 손쉽게 촬영 준비를 마무리하세요.
개선된 Auto Focus 기능으로 원하는 이미지를 더욱 쉽게 촬영할 수 있습니다.
대면적 스캔
더 넓은 영역을 촬영하세요
대면적 스캔 기능은 대형 표본을 이미지화하고 분석하는데 필수적인 단계입니다.
한 장의 SEM이미지로 담을 수 없는 샘플의 더 넓은 영역을 지정해보세요.
대면적 스캔 기능을 사용하면 지정한 영역 내의 여러 위치에서 자동으로 이미지를 획득할 수 있으며,
원하는 배율에서 넓은 영역 분석과 고해상도 분석을 모두 수행할 수 있습니다.
3D 렌더링
새롭게 탑재된 3D 렌더링 기능을 통해 쉽고 간편하게 시료 표면의 입체적인 Roughness를 확인하세요
Electron System | Resolution | 5nm (30kV, SE) |
Magnification | x30 ~ 150,000 | |
Accelerating Voltage | 1/5/10/15/20/30 kV(6 step) | |
Detector | Standard : Secondary Electron (SEI) Optional : Back scattered Electron (BSE) | |
Electron Gun | Pre-centered Tungsten filament cartidge | |
Stage System | Stage Traverse | X, Y : 40mm / R : 360°, Z : 0~40mm / T : -45~90° |
Max. Sample Size | up to 80mm (Diameter) up to 40mm (Height) | |
Image System | Automation Function | Auto Start, Auto Focus |
Image Format | BMP, JPEG, PNGM, TIFF | |
Vacuum System | Vacuum Mode | High / Low (BSE mode) |
Vacuum Pump | Rotary Pump + Turbo molecular pump | |
Dimensions | Main Unit | 300(W)×460(D)×600(H)mm (78kg) |
Controller Unit | 256(W)×220(D)×90(H)mm (4kg) | |
Rotary Pump | 400(W)×160(D)×340(H)mm (24kg) |