OLS5000
Detail View →
Công cụ phân tích nâng cao
Khả năng quan sát đa dạng của dòng MX63 cung cấp hình ảnh rõ ràng, sắc nét để người dùng có thể phát hiện ra các khuyết tật trong mẫu của họ một cách đáng tin cậy. Các kỹ thuật chiếu sáng mới và các tùy chọn thu nhận hình ảnh trong phần mềm phân tích hình ảnh OLYMPUS Stream cung cấp cho người dùng nhiều lựa chọn hơn để đánh giá mẫu và ghi lại kết quả của họ.
Điều vô hình trở nên hữu hình: Quan sát và thu nhận MIX
Công nghệ quan sát MIX tạo ra hình ảnh quan sát độc đáo bằng cách kết hợp trường tối với một phương pháp quan sát khác, chẳng hạn như trường sáng, huỳnh quang hoặc phân cực. Quan sát MIX giúp người dùng có thể nhìn thấy những khuyết tật khó nhìn thấy bằng kính hiển vi thông thường. Đèn chiếu sáng LED hình tròn được sử dụng để quan sát trường tối có chức năng trường tối định hướng trong đó chỉ có một góc phần tư được chiếu sáng tại một thời điểm nhất định. Điều này giúp giảm bớt khối lượng của mẫu và hữu ích để hình dung kết cấu bề mặt của mẫu.
Chụp cả vùng sáng và vùng tối bằng HDR
Sử dụng xử lý hình ảnh tiên tiến, dải động cao (HDR) điều chỉnh sự khác biệt về độ sáng trong hình ảnh để giảm độ chói. HDR cải thiện chất lượng hình ảnh của hình ảnh kỹ thuật số, do đó giúp tạo ra các báo cáo trông chuyên nghiệp.
Từ Đo lường Cơ bản đến Phân tích Nâng cao
Đo lường là điều cần thiết để kiểm soát và kiểm tra chất lượng và quá trình. Với lưu ý này, ngay cả gói phần mềm OLYMPUS Stream cấp nhập cảnh cũng bao gồm một menu đầy đủ các chức năng đo tương tác, với tất cả các kết quả đo được lưu cùng với các tệp hình ảnh để làm tài liệu thêm. Ngoài ra, Giải pháp Vật liệu Dòng OLYMPUS cung cấp một giao diện trực quan, hướng đến quy trình làm việc để phân tích hình ảnh phức tạp. Chỉ với một nút bấm, các tác vụ phân tích hình ảnh có thể được thực hiện một cách nhanh chóng và chính xác. Với việc giảm đáng kể thời gian xử lý cho các tác vụ lặp đi lặp lại, người vận hành có thể tập trung vào việc kiểm tra trong tầm tay.
Các ứng dụng
Kính hiển vi ánh sáng phản xạ trải dài trong một loạt các ứng dụng và ngành công nghiệp. Đây chỉ là một lựa chọn của các ví dụ về những gì có thể đạt được bằng cách sử dụng các phương pháp quan sát khác nhau.
|
Darkfield / MIX với Brighfield Mẫu vi mạch trên tấm wafer bán dẫn
Trường tối được sử dụng để quan sát ánh sáng tán xạ hoặc nhiễu xạ từ mẫu. Vì chỉ có những thứ không phẳng mới phản chiếu ánh sáng này, nên những điểm không hoàn hảo mới nổi rõ. Người kiểm tra có thể xác định những sai sót dù chỉ là nhỏ nhất. Darkfield lý tưởng để phát hiện các vết xước hoặc sai sót nhỏ trên mẫu và kiểm tra các mẫu bề mặt gương, bao gồm cả tấm mỏng. |
Huỳnh quang / MIX với Darkfield Cặn quang học trên tấm wafer bán dẫn
Kỹ thuật này được sử dụng cho các mẫu phát huỳnh quang (phát ra ánh sáng có bước sóng khác) khi được chiếu sáng bằng một khối bộ lọc được thiết kế đặc biệt có thể được lựa chọn cho ứng dụng cụ thể. Nó thích hợp để kiểm tra sự nhiễm bẩn trên các tấm bán dẫn, các dư lượng chất cản quang, và phát hiện các vết nứt thông qua việc sử dụng thuốc nhuộm huỳnh quang. |
Ánh sáng truyền qua / MIX với Brightfield Bộ lọc màu LCD
Kỹ thuật quan sát này phù hợp với các mẫu trong suốt như màn hình LCD, chất dẻo và vật liệu thủy tinh.
|
|
Sự tương phản chênh lệch Ổ đĩa cứng
Độ tương phản giao thoa khác biệt (DIC) là một kỹ thuật quan sát trong đó chiều cao của mẫu, thường không thể phát hiện được trong trường sáng, có thể nhìn thấy dưới dạng phù điêu, tương tự như hình ảnh 3D với độ tương phản được cải thiện. Nó là lý tưởng để kiểm tra các mẫu có sự khác biệt về chiều cao rất nhỏ như đầu từ tính, phương tiện đĩa cứng và tấm lót được đánh bóng. |
Ánh sáng phân cực Phim ảnh
Các quan sát ánh sáng phân cực thể hiện một cách sáng sủa kết cấu và tình trạng tinh thể của vật liệu. Nó phù hợp để kiểm tra các cấu trúc wafer và LCD.
|
Hồng ngoại (IR) Phần điện cực
Quan sát IR thích hợp để kiểm tra không phá hủy các khuyết tật bên trong chip IC và các thiết bị điện tử khác được cấu tạo bằng silicon hoặc thủy tinh dễ dàng truyền các bước sóng ánh sáng IR.
|
Thông số kỹ thuật
| MX63 | ||
| Hệ thống quang học | Hệ thống quang học UIS2 (hệ thống hiệu chỉnh vô cực) | |
| Khung kính hiển vi | Phản xạ ánh sáng chiếu sáng | Đèn LED trắng (với Trình quản lý cường độ ánh sáng) Đèn halogen 12 V 100 W, đèn thủy ngân 100W |
| Chuyển đổi thủ công Brightfield / darkfield / gương khối. (Khối gương là tùy chọn.) | ||
| 3 vị trí gương được mã hóa đơn vị thay đổi bằng thao tác thủ công | ||
| Màng chắn khẩu độ cơ giới tích hợp (Cài đặt trước cho từng vật kính, tự động mở hoàn toàn cho trường tối) | ||
| Chế độ quan sát: trường sáng, trường tối, độ tương phản giao diện vi sai (DIC) * 1, phân cực đơn giản * 1, huỳnh quang * 1, hồng ngoại * 1 và quan sát MIX (trường tối 4 hướng) * 2 | ||
| * 1 khối gương tùy chọn, * 2 cấu hình quan sát MIX là bắt buộc | ||
| Chiếu sáng truyền qua ánh sáng | Bộ chiếu sáng ánh sáng truyền qua: Cần có MX-TILLA hoặc MX-TILLB. | |
| – MX-TILLA: một tụ điện (NA 0,5) và một điểm dừng khẩu độ | ||
| – MX-TILLB: một tụ điện (NA 0,6), một điểm dừng khẩu độ và một điểm dừng trường | ||
| Nguồn sáng: LG-PS2 (đèn halogen 12 V, 100 W) Hướng dẫn ánh sáng: LG-SF | ||
| Chế độ quan sát: trường sáng, phân cực đơn giản | ||
| Tiêu điểm | Hành trình: 32 mm | |
| Hành trình mịn mỗi vòng quay: 100 μm | ||
| Tốt nghiệp tối thiểu: 1μm | ||
| Nút chặn giới hạn trên và điều chỉnh mô-men xoắn cho tay cầm thô | ||
| Trọng lượng tải tối đa (bao gồm giai đoạn và giá đỡ) | 8 kg | |
| Ống quan sát | Trường rộng (FN 22 mm) | Lắp dựng và ba mắt: U-ETR4 |
| Dựng, nghiêng và ba mắt: U-TTR-2 | ||
| Đảo ngược và ba mắt: U-SWTR-3 | ||
| Đảo ngược và ống nhòm: U-BI30-2 | ||
| Đảo ngược, nghiêng và ống nhòm: U-TBI30 | ||
| Trường siêu rộng (FN 26,5 mm) | Dựng, nghiêng và ba mắt: MX-SWETTR (chuyển đổi đường dẫn quang học 100% (thị kính): 0 (máy ảnh) hoặc 0: 100%) | |
| Dựng, nghiêng và ba mắt: U-SWETTR (chuyển đổi đường dẫn quang học 100% (thị kính): 0 (máy ảnh) hoặc 20%: 80%) | ||
| Đảo ngược và ba mắt: U-SWTR-3 | ||
| Mô tơ tầm nhìn | Vùng sáng | |
| Bộ tách rời có động cơ với một khe trượt cho DIC: U-D6REMC | ||
| Bộ phận tạ trung tâm có động cơ với khe trượt cho DIC: U-P5REMC | ||
| Brightfield và darkfield | ||
| Bộ tách rời có động cơ với một khe trượt cho DIC: U-D6BDREMC | ||
| Xe ngũ cấp có động cơ với khe trượt cho DIC: U-D5BDREMC | ||
| Xe tạ trung tâm có động cơ với khe trượt cho DIC: U-P5BDREMC | ||
| Giai đoạn (X × Y) | Tay cầm bên phải đồng trục với bộ truyền động ly hợp tích hợp: MX-SIC8R | |
| Hành trình: 210 x 210 mm | ||
| Vùng chiếu sáng truyền qua: 189 x 189 mm | ||
| Tay nắm bên phải đồng trục với bộ truyền động ly hợp tích hợp: MX-SIC6R2 | ||
| Hành trình: 158 x 158 mm | ||
| (Chỉ sử dụng ánh sáng phản xạ) | ||
| Cân nặng | Khoảng 35,6kg （Khung kính hiển vi 26kg） | |
Kích thước
