SNE 4500M
Kính hiển vi điện tử quét độ phóng đại cao (x100K)
I Hiệu Năng
Độ Phân Giải | Độ Phóng Đại | Hình Ảnh SE |
5nm | 100.000x | Hình ảnh SE |
1. Thiết bị SEM chi phí thấp do các linh kiện được tối thiểu hóa và có độ phóng đại lên đến 100.000 lần.
2. Có thể quét hình ảnh với độ phân giải 5nm nhờ vào khả năng thay đổi các khẩu độ một cách dễ dàng.
- SE (Secondary Electron): Tạo ra hình ảnh với cấp độ cao. Chủ yếu được sử dụng để kiểm tra bề mặt.
II. Ưu Điểm
Hệ Thống Trục | Auto Setting | Simple S/W |
X,Y,Z,R,T (5-axis) Beam Shift: 150μm |
Focus, Contrast, Brightness | Convenient Operation |
1. Là thiết bị SEM duy nhất có đến 5 trục giúp việc di chuyển một cách dễ dàng và đơn giản mà không gây bất kỳ giới hạn nào cho người dùng.
2. Able to get various analysis results with various scan modes measurement tool
1. Ống Phóng X-ray |
Max 30kV |
2. Độ Phân Giải |
5nm |
3. Độ Phóng Đại |
20x – 100.000x |
4. Bộ Dò |
SE (Electron thứ cấp) BSE (Electron sơ cấp) |
5. Nguồn Điện Tử Quét |
Bóng Vonfram |
6. Khẩu độ |
30, 50, 50, 100 µm |
7. Điểm Ảnh |
2560x1920 |
8. Bàn Thao tác |
X: 40mm, Y:40mm, R: 360, Z: 0 – 40mm, T: 0 - 45 độ. Di chuyển thủ công |
9. Kíc Thước Mẫu Tối Đa |
80mm/35mm |
10. Chế Độ Chân Không |
Chỉ dùng mức chân không cao |
11. Thời Gian Quét Mẫu |
180 giây |
12. Hệ Thống EDS |
Hãng Bruker, Oxford – Anh Quốc |
13. Kích Thước và Khối Lượng |
390 x 737 x 590 (110kg) |
Catalogue